《国家自然科学基金委员会简报》 专题报道 刘丁教授团队科研成果

来源:国家自然科学基金委  时间:2021-11-01  点击数:

《国家自然科学基金委员会简报》2021年第10期(总515期)以“我国大尺寸硅单晶生长技术与设备实现国产化”为题做了专题报道。报道中指出,大尺寸半导体硅单晶材料长期被国外垄断,严重制约了我国集成电路产业的发展。我校刘丁教授团队在国家自然科学基金委重点项目等资助下,经过多年研究,突破了硅单晶生长的核心技术难题,自主研制出新一代12英寸半导体硅单晶生长全套设备,使我国大尺寸硅单晶生长技术达到国际先进水平。

2020年9月28日,国家自然科学基金委员会门户网站在基金要闻栏目中以“我国学者在大尺寸电子级硅单晶生长控制与应用方面取得新进展”为题进行了报道。报道中指出,西安理工大学刘丁教授带领的研发团队,以我国半导体产业发展的重大需求为导向,围绕极大规模集成电路用硅单晶的生长机理与建模、核心工艺与控制、整机设计与装备制造中的关键科学技术问题,系统开展了基础理论、关键技术、制造装备以及产业化应用等方面的研究工作。所取得的成果在保障微细纳米制程对硅材料的品质要求、关键工艺的实现、高端装备研制等方面发挥了积极的促进作用,并在我国半导体大硅片产线中投入应用。该项目紧密围绕国家重大需求,为解决我国产业发展中卡脖子问题提供了有力的理论与技术支撑。(原文链接:我国学者在大尺寸电子级硅单晶生长控制与应用方面取得新进展 (nsfc.gov.cn)


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