专利名称:金刚石线切割硅粉表面二氧化硅的去除方法

来源:  时间:2025-07-11  点击数:

专利号

ZL202411443138.9

专利类型

发明

申请日

2024-10-16

专利权人

西安理工大学

授权日

2025-01-07

法律效力

有效

摘要

本发明公开了金刚石线切割硅粉表面二氧化硅的去除方法,具体按照以下步骤实施:步骤1,将金刚石切除的废料进行压滤,将压滤出的固体进行真空干燥,得到干燥样品,称取碳前驱体与干燥样品于去离子水或乙醇中进行混合,并将混合后的溶液放置水浴搅拌锅中进行预固化,预固化后进行干燥并研磨过筛得到初始样品;步骤2,将步骤1所得的初始样品放入高温加热装置中加热保温,碳前驱体热解成无定形碳包覆在初始样品上,再加热到预设温度保温后,去除二氧化硅,获得纯硅粉末。本发明的金刚石线切割硅粉表面二氧化硅的去除方法,利用碳前驱体提供碳源,在硅粉表面形成包覆层,利用碳热反应对二氧化硅进行去除,得到纯硅粉末。

 

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